마이크로/나노 시스템 연구실의 연구 결과가 Optical MEMS 분야 권위지인 International Journal of Optomechatronics (IF = 6.7, 상위 3.9%)에 게재되었다. 논문의 제목은 ‘Large Deflection Angle Resonant 1D Scanning Micromirror Fabricated with Multi Jet Fusion 3D Printed Parts’로, 본 연구에서는 LIDAR (light detection and ranging) 센서에 적용 가능한 전자력 구동 방식의 1D 스캐닝 마이크로미러를 powder bed fusion 방식 3D 프린팅의 일종인 multi jet fusion 으로 구현하였다. 기존의 MEMS 스캐너는 반도체 공정을 이용하여 제작된 단결정 실리콘 가동부를 이용하였으나, 본 연구에서는 단가가 낮고, 고가의 장비 없이 빠르게 제작 가능하며, 다양한 재질을 활용할 수 있어 최근 각광받고 있는 3D 프린팅을 이용하여 소자를 제작하였다. 마이크로/나노 시스템 연구실은 실리콘 기반의 MEMS 스캐너 상용화에 성공하였으며, 3D 프린팅을 이용한 MEMS 스캐너 연구를 주도하고 있다. 본 논문에는 이화여자대학교 마이크로/나노 시스템 연구실 졸업생인 김우경 (석사, (현) LG전자)이 제1저자, 황정연 (박사, (현) Fraunhofer Institute for Silicon Technology (독일))가 제2저자, 지창현 교수가 교신저자로 참여하였다.

그림. 제작된 스캐닝 마이크로 미러와 제작된 스캐너로 형성한 스캔 패턴

논문 DOI: https://doi.org/10.1080/15599612.2024.2371289